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產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品名稱(chēng)：
Luxtron熒光光纖測溫儀
描述：m920 Luxtron熒光光纖測溫儀包括四通道 m924 和兩通道 m922 半導體模塊，設計用于蝕刻機和晶圓廠(chǎng)設備對靜電卡盤(pán)，真空腔室和其他設備的溫度進(jìn)行監控。訪(fǎng)問(wèn)次數： 3431更新時(shí)間： 2024-04-23
產(chǎn)品介紹
詳細說(shuō)明
2 通道或 4 通道可選
模塊，探頭、通道可靈活組合
可靠的設計- 已安裝上萬(wàn)套 Luxtron 系統
可為 OEM 應用訂制探頭
探頭適用于所有電磁干擾環(huán)境：等離子體、射頻、微波、磁性、高壓
可選配金屬外殼
基于現場(chǎng)可靠性驗證和豐富的技術(shù)應用支撐的新型高性能光纖熒光溫度傳感解決方案
LumaSense 擁有超過(guò)40年的將光纖溫度解決方案集成到具有挑戰性的應用中的經(jīng)驗. 已經(jīng)安裝了數千個(gè)具有可靠性能的 Luxtron OEM 模塊.
靈活的探頭混搭設計
m920 系列模塊和 LumaSense 探頭相互之間可以任意匹配。 任何 m920 系列模塊都可以與任何通道上的任何探頭一起使用，而無(wú)需校準. m920 系列內置了與LumaSense 探頭匹配的校準表，可進(jìn)行高精度測量.
輕松集成到OEM設備
m920 系列包含兩塊線(xiàn)路板。主板包含光纖熒光測溫度通道，數字輸出 (RS-232 ASCII, RS-485 Modbus), 和電源連接. 模擬輸出線(xiàn)路板安裝在主板上方，提供 0 … 10V 或 4 … 20mA 輸出. 用戶(hù)可根據實(shí)際情況選配保護外殼.
Luxtron熒光光纖測溫儀m920系列主板解調來(lái)自 Fluoroptic® 探頭的測量信號并將校準后的溫度報告給 OEM 控制系統. 非金屬探頭通過(guò)堅固的光纖與主板連接，可在惡劣環(huán)境下應用.
向下兼容 LUXTRON m822 和 m600 系列模塊, Luxtron 熒光探頭
m920 OEM 系統適用于當前所有的 Luxtron® 品牌的熒光探頭和光纖延長(cháng)線(xiàn). Luxtron® 品牌擁有超過(guò)25年的經(jīng)驗并在范圍內安裝了上萬(wàn)套系統，是光纖溫度測量值得信賴(lài)的來(lái)源. 此外，m920 系列用戶(hù)界面命令與 m822 和 m600 系列 OEM 模塊基本相同.
典型應用
等離子刻蝕機卡盤(pán)溫度監控
Shower Head溫度監控
真空腔體溫度監控
其他晶圓設備溫度監控
使用RF和等離子的半導體和FPD處理
Luxtron熒光光纖測溫儀技術(shù)參數 | |
| 通道數 | m922: 2 m924: 4 |
| 采樣率 | 每個(gè)通道高達 50 Hz |
| 溫度范圍 | -100 ... 330 °C (取決于探頭) |
| 精度 (取決于探頭) | ±0.05 °C |
| 溫度分辨率 | 0.01°C |
| 工作溫度 | -40 °C ... 85 °C |
| 模擬輸出 | 0-10 V or 4-20 mA |
| 串口通訊 | RS-232 and RS-485 |
| 協(xié)議 | ASCII 和 Modbus (RS-485) |
| 輸入電壓 | 額定+5 … 24VDC @ 100 mA |
| 尺寸 (主板) | 23.7 mm (H) x 100.6 mm (W) x 134.4 mm (L) |
| 選配件 | 用于電磁屏蔽的金屬外殼 |
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